恒立科技所設計制造的高純電子化學品容器，普遍廣泛用于半導體行業制造過程中所使用高純化學品（部分化學品純度為99.9999%~99.9999999%）的灌裝及使用。因此，除了基本的灌裝高純化學品的高品質和高安 全以外，還需要保 證其和使用設備良好的兼容性和使用效率。因此，容器亦是半導體生產設備的關鍵構成部件之一。

恒立科技公司產品

特點

材質

● 管件閥門：316L不銹鋼

● 瓶體：316L不銹鋼內部EP拋光處理，Ra≤0.25μm

容積與尺寸

根據客戶要求設計加工生產

灌裝介質

金屬有機前驅體材料、硅基前驅體材料及其他高純前驅體化學品

氣密性檢測

● 允許泄漏率≤1.0×10 mbar.L/S

● 可裝化學品純度：99.9999%～99.9999999%

檢測測試

本容器通過我國檢測部門檢測，可提供UN*

其他選項

● 閥門可按客戶需求選擇

● 短間隙組合閥組（減少死角、清掃方便）

● 多系列客戶選擇：C系列、S系列、G系列

● 定制化設計生產

恒立科技有限公司是一家專注于半導體行業機電設備設計、開發、生產的先 進制造企業。公司力爭將公司打造成為的半導體材料容器、半導體關鍵機電設備及完整服務方案的供應商。公司位于陜西省寶雞市鳳翔區，擁有10000㎡先 進加工車間及500㎡千級潔凈車間，完整的檢測設備，具有提供ReadytoFill的潔凈容器的能力

應用領域

恒立科技能夠提供50ML-500L的二十多種規格容器產品，容器按客戶要求及行業標準進行設計和制造，容器實行嚴格檢測和品質管控，從而保 證灌裝高純化學品的高質量、高安 全，同時也保 證其和使用設備良好的兼容性和使用效率。

通訊

典型高純化學品：

SiCl4等

液晶

典型高純化學品：

液晶分子, TEOS等

LED

典型高純化學品：

高純金屬有機化合物、特種氣體等

IC

典型高純化學品：

TEOS, TiCI4, TMA, TDMAT,HCDS,High-K,Low-K,SiH2CI2,Si2H6.WF6及其他ALD/CVD材料

太陽能

典型高純化學品：

TMA等

恒利科技現擁有千級潔凈室/潔凈棚共100余㎡，是國內少數擁有潔凈清洗能力，潔凈棚內配有多套18兆純水清洗及氣體抽烘置換裝置，并在潔凈棚內設有表面清潔作業區。所有容器的管件焊接在潔凈室中進行，公司現配套有2臺全進口激光自動焊機，確 保加工品質和潔凈環境。